[发明专利]一种投影物镜有效
| 申请号： | 201210143845.7 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN103389564A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 朱立荣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/14 | 分类号： | G02B13/14;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种投影物镜，所述投影物镜由高折射率材料形成的镜片和低折射率材料形成的镜片分配设置而成，其中，所述高折射率材料指ni>1.57的材料，包括折射率高于1.57的第一高折射率材料和折射率高于1.61的第二高折射率材料，采用第二高折射率的镜片需满足镜片径厚比不小于4，且不能位于接近物面和接近像面的镜片中；所述低折射率材料指ni<1.51的材料，包括ni<1.51的第一低折射率材料和ni<1.48的第二低折射率材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种投影物镜，其特征在于，所述投影物镜由高折射率材料形成的镜片和低折射率材料形成的镜片分配设置而成，其中，所述高折射率材料指ni > 1.57的材料，包括折射率高于1.57的第一高折射率材料和折射率高于1.61的第二高折射率材料，采用第二高折射率的镜片需满足镜片径厚比不小于4，且不能位于接近物面和接近像面的镜片中； 所述低折射率材料指ni < 1.51的材料，包括ni < 1.51的第一低折射率材料和ni < 1.48的第二低折射率材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210143845.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硬质合金棒材的无心磨削装置
- 下一篇：一种治疗新生儿黄疸的中药外洗剂
