[发明专利]双柔性磨头磁流变抛光装置

摘要

本发明公开了一种双柔性磨头磁流变抛光装置，所述装置中床身的竖直龙门和X轴均固定在水平底座上，工作台固定在X轴的滑块上，Y轴固定在竖直龙门的横梁上，第一Z轴、第二Z轴并排设置Y轴上。大柔性磨头安装在第一Z轴上，小柔性磨头安装在第二Z轴上。与大柔性磨头相连的大流量循环系统和与小柔性磨头相连的小流量循环系统设置在小车上。控制柜设置在竖直龙门的后面，循环系统柜以及清洗系统设置在竖直龙门的侧面。本发明的双柔性磨头磁流变抛光装置精度高、刚度高、稳定性高、动态性能高，不仅可用于大口径位相类元件的加工，而且可用于大口径平面类光学元件在全口径范围内的高精度加工，能够实现加工效率与加工精度的最优匹配。

主权项

一种双柔性磨头磁流变抛光装置，其特征在于：所述的抛光装置包括床身（1）、大柔性磨头（2）、小柔性磨头（3）、大流量循环系统（4）、小流量循环系统（5）、清洗系统（6）、防护罩（7）以及与上述各部分相连的测控系统；床身（1）包括水平底座（101）、竖直龙门（102）、X轴（103）、Y轴（104）、第一Z轴（105）以及第二Z轴（106）；竖直龙门（102）和X轴（103）分别固定在水平底座（101）上，竖直龙门（102）的横梁与立柱为一整体；用于装夹工件（8）的工装（9）安装于工作台（10）上，工作台（10）固定在X轴（103）的滑块上；Y轴（104）固定在竖直龙门（102）的横梁上；第一Z轴（105）和第二Z轴（106）并排安装在Y轴（104）的拖板上；大柔性磨头（2）安装在第一Z轴（105）的第一滑枕（1051）上、小柔性磨头（3）安装在第二Z轴（106）的第二滑枕（1061）上；大流量循环系统（4）与小流量循环系统（5）并排设置在小车（401）上，大流量循环系统（4）与大柔性磨头（2）相连，小流量循环系统（5）与小柔性磨头（3）相连；清洗系统（6）置于竖直龙门（102）的侧面；所述的抛光装置还设有防护罩（7），防护罩（7）包括床身罩壳（701）、控制柜（702）和循环系统柜（703），装有测控系统的控制柜（702）设置于竖直龙门（102）的后面，装有小车（401）的循环系统柜（703）以及清洗系统（6）设置于竖直龙门（102）的同一侧。