[发明专利]一种用激光制作波导的方法无效
| 申请号： | 201210146532.7 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102736176A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 程光华;赵卫;白晶;张挺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用激光制作波导的方法，包括以下步骤：1)将激光器发出的激光进行扩束；2)扩束后的激光再经过1/2λ波片；3)步骤2)出射的激光聚焦后形成刻写激光；4)将刻写激光作用于光学样品进行痕迹扫描，形成波导。本发明用激光制作波导的方法，采用双线型的光刻方法，刻写两条折射降低的轨迹，由于两条痕迹选取合适的间距和光刻参数，可以在两痕迹之间的区域产生正的折射率改变，从而实现了波导的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 制作 波导 方法 | ||
【主权项】：
一种用激光制作波导的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)将激光器发出的激光进行扩束；2)扩束后的激光再经过1/2λ波片；3)步骤2)出射的激光聚焦后形成刻写激光；4)将刻写激光作用于光学样品进行痕迹扫描，形成波导。
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