[发明专利]在线制备太阳能电池导电极膜层

摘要

本发明涉及一种硅基薄膜太阳能电池背电极或前电极在线连续磁控溅射镀膜，属于太阳能技术领域。发明目的用阴极靶的电磁体调整磁场极性，使其磁体极性相同或相反。技术特征，在线连续磁控溅射镀膜，在真空腔室内，安装多种靶材的阴极靶装置是平板靶或旋转靶。阴极靶相邻靶位的磁体极性可调。连续磁控溅射镀膜在基板（电池板）表面形成复合膜和金属膜,或金属氧化膜。可获得清晰界定AZO，金属膜，提高了膜层的光学性和电学性，提高了产能，降低了生产成本。

主权项

一种在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于：在线连续磁控溅射镀膜，在真空腔室内，安装多种靶材构成阴极靶装置所形成的阴极靶连续镀膜区域和过渡区域；且镀膜区域内排列的阴极靶是平板靶或旋转靶，阴极靶相邻靶位的磁体极性可调； 磁体由外环和中间电磁体励磁线圈接直流电源正负极调节磁体极性；匹配外环和中间磁体的励磁线圈的匝数或磁体的截面积调节磁通量；电池基片通过真空腔室内阴极靶镀膜区和过渡区连续磁控溅射镀膜；在基片表面形成复合膜和金属膜,或金属氧化膜。