[发明专利]晶面定向检测粘接台

摘要

晶面定向检测粘接台，主要由工作台，工作台周边安装的围板，工作台上安装有电源、检测粘接装置和信号显示屏组成，检测粘接装置由检测装置和粘接装置两部分组成，粘接装置包括支架、固定条、固定座和V形基座，检测装置安装在支架后端的固定板上，由X射线管、定位针和射线信号接收器组成，射线信号接收器安装在固定板的另一端、X射线被晶棒反射的反射线上。使用时，先将晶棒放置在V形基座上，将V形基座定位在固定座上，定位针正对晶棒侧面上点，打开X射线管，转动晶棒，使晶棒的反射信号达到最大值，此时在晶棒与V形基座的接触面上涂胶，将晶棒压紧在胶面上，晶面的检测和粘接工作即完成。

主权项

晶面定向检测粘接台，主要由工作台(1)，工作台周边安装的围板(3)组成，其特征在于：该工作台还包括有工作台上安装有电源(6)、检测粘接装置和信号显示屏(7)，检测粘接装置安装在工作台(1)台面的一端，信号显示屏(7)安装在工作台台面的另一端，检测粘接装置由检测装置和粘接装置两部分组成，粘接装置包括支架(2)、固定条(11)、固定座(13)和V形基座(12)，支架(2)固定在工作台(1)台面上支架上端面中部安装固定座(13)，固定座的两端用固定条(11)固定，V形基座(12)安装在固定座(13)上，两端用固定条(11)固定，晶棒(10)安装在V形基座(12)的V形槽内，检测装置安装在支架(2)后端的固定板(4)上，由X射线管(5)、定位针(9)和射线信号接收器(8)组成，定位针(9)安装固定板(4)的中部，定位针下方正对晶棒(10)侧面上方，固定板(4)的一端安装X射线管(5)，X射线管发出的射线指向定位针下方晶棒的侧面，射线信号接收器(8)安装在固定板(4)的另一端、X射线被晶棒反射的反射线上，射线信号接收器(8)与信号显示屏(7)连接，电源(6)分别与X射线管(5)、射线信号接收器(8)和信号显示屏(7)连接。