[发明专利]导电薄膜、其制备方法及应用有效
| 申请号： | 201210148999.5 | 申请日： | 2012-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103422057A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;黄辉 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;H05B33/26;H05B33/10 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平;生启 |
| 地址： | 518100 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种导电薄膜，包括层叠的MZO层及Cu1-xNixO层，其中，0.01≤x≤0.15，所述MZO为掺铝的氧化锌、掺镓的氧化锌或掺铟的氧化锌。上述导电薄膜通过在MZO层的表面沉积高功函的Cu1-xNixO层制备双层导电薄膜，既能保持MZO层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种导电薄膜，其特征在于，包括层叠的MZO层及Cu1‑xNixO层，其中，0.01≤x≤0.15，所述MZO为掺铝的氧化锌、掺镓的氧化锌或掺铟的氧化锌。
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