[发明专利]用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备有效
| 申请号： | 201210149468.8 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102768935A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | M·戴尔曼;M·格丁 | 申请（专利权）人： | 克洛纳测量技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;李家麟 |
| 地址： | 德国杜*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明描述和示出一种用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备，具有参考振荡器(1)、直接数字合成器(2)、低通滤波器(3)和比较器(4)，其中同步离子屏蔽质量分离器具有梳形分离电极(6)，其中参考振荡器(1)给直接数字合成器(2)提供参考频率，由直接数字合成器(2)产生的输出信号由低通滤波器(3)滤波并且低通滤波器(3)的输出信号由比较器(4)处理。根据本发明，通过如下方式实现可灵活使用的和成本低的驱动设备：由可编程元件(11)把比较器(4)的输出信号转换为与梳形分离电极(6)的齿(7)的数目相应的数目的输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 同步 离子 屏蔽 质量 分离器 驱动 设备 | ||
【主权项】：
用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备，具有参考振荡器(1)、直接数字合成器(2)、低通滤波器(3)和比较器(4)，其中同步离子屏蔽质量分离器具有梳形分离电极(6)，参考振荡器(1)给直接数字合成器(2)提供参考频率，由直接数字合成器(2)产生的输出信号由低通滤波器(3)滤波，并且低通滤波器(3)的输出信号由比较器(4)处理，其特征在于，由可编程元件(11)把比较器(4)的输出信号转换为与梳形分离电极(6)的齿(7)的数目相应的数目的输出信号。
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