[发明专利]鳍式BJT有效

专利信息
申请号: 201210154484.6 申请日: 2012-05-17
公开(公告)号: CN103187438A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 张智胜;林以唐;谢铭峰 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417;H01L29/423;H01L29/735;H01L21/331
代理公司: 北京德恒律师事务所 11306 代理人: 陆鑫;房岭梅
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供了一种使用鳍式场效应晶体管(FinFET)互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺流程所形成的双极结型晶体管(BJT)。该BJT包括形成在衬底上方的发射极鳍、基极鳍以及集电极鳍。基极鳍围绕着发射极鳍,并且集电极鳍围绕着发射极鳍。在一些实施例中,当从上方观看时,发射极鳍、基极鳍以及集电极鳍具有正方形的形状并且彼此同心。还提供了一种鳍式BJT。
搜索关键词: 鳍式 bjt
【主权项】:
一种双极结型晶体管(BJT),包括:发射极鳍,形成在衬底上方;基极鳍,形成在所述衬底上方,所述基极鳍围绕所述发射极鳍;以及集电极鳍,形成在所述衬底上方,所述集电极鳍围绕所述基极鳍,从而形成了所述BJT。
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