[发明专利]鳍式BJT有效
申请号: | 201210154484.6 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN103187438A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 张智胜;林以唐;谢铭峰 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L29/423;H01L29/735;H01L21/331 |
代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;房岭梅 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了一种使用鳍式场效应晶体管(FinFET)互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺流程所形成的双极结型晶体管(BJT)。该BJT包括形成在衬底上方的发射极鳍、基极鳍以及集电极鳍。基极鳍围绕着发射极鳍,并且集电极鳍围绕着发射极鳍。在一些实施例中,当从上方观看时,发射极鳍、基极鳍以及集电极鳍具有正方形的形状并且彼此同心。还提供了一种鳍式BJT。 | ||
搜索关键词: | 鳍式 bjt | ||
【主权项】:
一种双极结型晶体管(BJT),包括:发射极鳍,形成在衬底上方;基极鳍,形成在所述衬底上方,所述基极鳍围绕所述发射极鳍;以及集电极鳍,形成在所述衬底上方,所述集电极鳍围绕所述基极鳍,从而形成了所述BJT。
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