[发明专利]一种检测镍金属硅化物在平面内生长长度的方法

摘要

本发明一种检测镍金属硅化物在平面内生长长度的方法，其中，包括以下的工艺步骤：在器件的有源区中形成N型井和P型井；在N型井和P型井中刻蚀出镍金属填充区域；在镍金属填充区域进行镍金属硅化物的填充；在有源区以及N型井和P型井的上表面淀积介质层；在位于N型井和P型井的镍金属硅化物的上表面，刻蚀介质层并形成两接触孔；在两接触孔中进行钨的填充；对器件进行退火；使用电子显微镜检测镍金属硅化物在器件的平面里所生长的长度。通过使用本发明一种检测镍金属硅化物在平面内生长长度的方法，有效地通过电子显微镜观察P型井与N型井中间不同尺寸的接触孔的亮光与暗光的变化，可以计算出得出镍金属硅化物在器件的平面内所生长的长度，同时能够很好的控制该工艺的质量。

主权项

一种检测镍金属硅化物在平面内生长长度的方法，其特征在于，包括以下的工艺步骤：步骤一，在器件的有源区中形成N型井和P型井；步骤二，在所述N型井和P型井中相互相向的位置刻蚀出镍金属填充区域；步骤三，在镍金属填充区域进行镍金属硅化物的填充；步骤四，在所述有源区以及所述N型井和P型井的上表面淀积介质层；步骤五，在位于所述N型井和P型井的镍金属硅化物的上表面，刻蚀介质层并形成两接触孔；步骤六，在所述两接触孔中进行钨的填充；步骤七，对器件进行退火；步骤八，使用电子显微镜直接检测观察镍金属硅化物在器件的平面里所生长的长度。