[发明专利]一种减少ALD工艺管路颗粒的方法

摘要

本发明一种减少ALD工艺管路颗粒的方法，包括：进气管路、出气管路、气源瓶以及反应腔，所述进气管路与所述出气管路均与气源瓶连接，所述出气管远离气源瓶的一端连接反应腔，其中，使所述气源瓶中注入反应前驱液体，所述进气管路连接气源瓶的一端向气源瓶底延伸，使进气管路的出气口位于所述反应前驱液体的液面之下，所述出气管路连接气源瓶的一端向气源瓶底延伸，使出气管路的出气口位于所述反应前驱液体的液面之上，所述出气管路外设有加热保护套。通过使用本发明一种减少ALD工艺管路颗粒的方法，有效地通过改善气源瓶的进气和出气结构，以及提高加热保护套温度设定，有效地减少气体残余，从而达到减少管路颗粒的目的，同时提高了气源和设备的利用率。

主权项

一种减少ALD工艺管路颗粒的方法，包括：进气管路、出气管路、气源瓶以及反应腔，所述进气管路与所述出气管路均与气源瓶连接，所述出气管远离气源瓶的一端连接反应腔，其特征在于，使所述气源瓶中注入反应前驱液体，所述进气管路连接气源瓶的一端向气源瓶底延伸，使进气管路的出气口位于所述反应前驱液体的液面之下，所述出气管路连接气源瓶的一端向气源瓶底延伸，使出气管路的出气口位于所述反应前驱液体的液面之上，所述出气管路外设有加热保护套。