[发明专利]用于多几何误差量测量的光学装置、干涉系统及光学测量方法有效
| 申请号： | 201210159463.3 | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN103424069A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏飞;池峰;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于多几何误差量测量的光学装置，该光学装置由一干涉光学镜组和一反射光学镜组构成，该干涉光学镜组包括：第一光学单元，用于测量位移X及角度Rx，Ry，Rz；第二光学单元，用于测量直线度∆Y和测量直线度∆Z；基座组件，用于与该第一、第二光学单元连接；该反射镜组用于将来自该干涉光学镜组的光束原路返回且与入射光分开一定距离。本发明同时公开一种双频激光干涉测量系统和一种用于多几何误差量测量的光学方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 几何 误差 测量 光学 装置 干涉 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于多几何误差量测量的光学装置，其特征在于，所述光学装置由一干涉光学镜组和一反射光学镜组构成，所述干涉光学镜组包括：第一光学单元，用于测量位移X及角度Rx，Ry，Rz；第二光学单元，用于测量直线度∆Y和测量直线度∆Z；基座组件，用于与所述第一、第二光学单元连接；所述反射镜组用于将来自所述干涉光学镜组的光束原路返回且与入射光分开一定距离。
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