[发明专利]LED 衬底的划片方法有效
| 申请号： | 201210160394.8 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102672355A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 高耀辉;张昊翔;万远涛;封飞飞;金豫浙;李东昇;江忠永 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/06;B23K26/42;H01L21/78;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LED衬底的划片方法，包括：提供LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层；采用飞秒激光系统将飞秒脉冲激光聚焦为线状光斑，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底中的衬底表面上且其长度大于等于所述LED衬底的直径；采用所述线状光斑对所述衬底进行扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第一沟槽；采用所述线状光斑对所述衬底进行二次扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第二沟槽，所述第二沟槽与第一沟槽的延伸方向垂直。本发明能够避免划片过程中对LED衬底造成的热损伤，而且有利于提高划片效率。 | ||
| 搜索关键词： | led 衬底 划片 方法 | ||
【主权项】：
一种LED衬底的划片方法，其特征在于，包括：提供LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层；采用飞秒激光系统将飞秒脉冲激光聚焦为线状光斑，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底中的衬底表面上且其长度大于等于所述LED衬底的直径；采用所述线状光斑对所述衬底进行扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第一沟槽；采用所述线状光斑对所述衬底进行二次扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第二沟槽，所述第二沟槽与第一沟槽的延伸方向垂直。
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