[发明专利]一种多孔硅微米管及其制备方法无效
申请号: | 201210161046.2 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN102701135A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 徐少辉;王连卫 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | B81B1/00 | 分类号: | B81B1/00;B81C1/00 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 吴泽群 |
地址: | 200062 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种多孔硅微米管及其制备方法,其结构的主要成分是多孔硅,多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构,其直径在10-20微米,其长度为100-600微米。本发明通过合适的制备条件制备高孔度多孔硅层,通过特殊干燥工艺,利用多孔硅中的应力不均匀特性,通过自断裂和自弯曲过程获得一种多孔硅微米管结构。由于多孔硅具有独特的结构特点,一旦形成管状结构将会有更大的比表面积,以及良好的力学性能和可操作性,在物理电子学和光学、生物医学和化学、材料学和微电机系统等众多领域具有巨大的潜在应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 多孔 微米 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种多孔硅微米管,其特征在于:结构的主要成分是多孔硅,多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构,其直径在10‑20微米,其长度为100‑600微米。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东师范大学,未经华东师范大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210161046.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。