[发明专利]一种精密轴系圆光栅光学分度系统

摘要

本发明是一种精密轴系圆光栅光学分度系统，以精密回转轴组合圆光栅的结构形式取代传统的光学分度头，以圆光栅的非接触式光学系统而非传统的机械微动装置实现精密轴系回转的微小角度分度计量，不需要影响分度精度的传动机构以及进行光学角度细分放大的光路系统。圆光栅的莫尔条纹信号接近正弦，适合于电路处理，测量角度位移的莫尔条纹可用光电转换以数字形式显示并进行计算处理，精密轴系由电动机驱动，整个系统实现了自动分度和程序控制。该系统可起到精密轴系主轴回转角度的精密光学分度作用，并用于对光电传感器进行小角度切线运动及精度测试与标定。克服了以往光学分度系统的不足，结构紧凑，调节方便灵活，对工作环境要求较低，且成本较低。

主权项

一种精密轴系圆光栅光学分度系统，其特征在于：精密轴系支撑圆光栅机构及光电传感器，驱动电机带动精密轴系转动并由锁紧机构定位，微调机构调节气浮轴承的回转轴与光电传感器光轴重合，联轴节联接驱动电机与精密轴系的主轴，系统的各组成部分都紧凑地布置在一个整体式的箱体内，与箱体连接成一体后固定在平板上。