[发明专利]半导体封装制造过程中用于传送半导体元件到衬底的装置有效
申请号: | 201210161945.2 | 申请日: | 2012-05-23 |
公开(公告)号: | CN102800613A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 林钜淦;邓谚羲;张伟源;林永坚 | 申请(专利权)人: | 先进科技新加坡有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 新加坡2*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于在半导体封装制造过程中将半导体元件212传送至衬底206a、206b、500a、500b、500c上的装置200,该装置200包含有:平台216,以及多个安装在平台216上的传送模块202a、202b,该多个传送模块202a、202b中的每个均包含有:支撑设备204a、204b,用于支撑衬底206a、206b、500a、500b、500c;和传送设备208a、208b,用于将半导体元件212传送至衬底206a、206b、500a、500b、500c上;其中,该支撑设备204a、204b的高度被相互地拉平,以在该多个传送模块202a、202b之间传输衬底206a、206b、500a、500b、500c。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 制造 过程 用于 传送 元件 衬底 装置 | ||
【主权项】:
一种用于在半导体封装制造过程中将半导体元件传送至衬底上的装置,该装置包含有:平台,以及多个安装在平台上的传送模块,该多个传送模块中的每个均包含有:支撑设备,用于支撑衬底;和传送设备,用于将半导体元件传送至衬底上;其中,该支撑设备的高度被相互拉平,以在该多个传送模块之间传输衬底。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造