[发明专利]一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201210162468.1 申请日: 2012-05-23
公开(公告)号: CN102689467A 公开(公告)日: 2012-09-26
发明(设计)人: 张秀廷;陈步亮;范兵;刘雪莲;王静;杨兴;张晋 申请(专利权)人: 北京天瑞星光热技术有限公司
主分类号: B32B15/18 分类号: B32B15/18;B32B15/04;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/35
代理公司: 北京永创新实专利事务所 11121 代理人: 赵文利
地址: 100080 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法,属于太阳能利用技术领域。所述的涂层从底层到表面依次为红外发射层、吸收层和减反射层;第一层红外发射层由Cu膜或者Ag膜组成,厚度在50~250nm;第二层吸收层包括两个亚层结构,两个亚层均为Si3N4和AlN膜,第三层减反射层为SiO2膜,厚度为20~60nm。本发明提供的涂层具有可见-红外光谱高吸收率,红外光谱低发射率的特点,并且由于采用双陶瓷结构的干涉吸收层,具有良好的中高温热稳定性。且该涂层制备工艺简便、操作方便、易于控制、缩短生产周期。
搜索关键词: 一种 具有 si sub aln 陶瓷 结构 高温 太阳能 选择性 吸收 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层,其特征在于:所述的涂层从底层到表面依次为红外发射层、吸收层和减反射层;第一层红外发射层由Cu膜或者Ag膜组成,位于基体表面,厚度在50~250nm;第二层吸收层包括两个亚层结构,两个亚层均为Si3N4和AlN膜,第一亚层和第二亚层的厚度均为50~100nm;第一亚层中Si3N4的体积百分比为20~40%,其余为AlN;第二亚层Si3N4的体积百分比为10~30%其余为AlN;第一亚层位于第一层红外发射层上,第二亚层位于第一亚层上;第三层减反射层由SiO2膜,厚度为20~60nm。
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