[发明专利]微麦克风读出电路及读出方法

摘要

本发明涉及有源电阻的传感器读出电路与其读出方法。为实现微麦克风的集成化，本发明采取的技术方案是，微麦克风读出电路及读出方法：当Vin处的电压大于500mV时，使PMOS管P1与NMOS管N1均导通，电荷从PMOS管P1经过NMOS管N1迅速释放到地，当Vin处的电压降低到500mV以下的时候，使PMOS管P1工作在亚阈值区，使NMOS管N1工作在线性区，电荷释放的速度有所减慢，当Vin处的电压降低到250mV以下得时候，此时的PMOS管P1为一个阻值很大的电阻，用来缓慢释放电荷。本发明主要应用于微麦克风设计制造。

主权项

一种微麦克风读出电路，其特征是，包括MEMS电容，前置放大器，电荷泵，带隙基准，放大器，滤波器，电荷泵给MEMS电容提供电荷，还包括有电荷释放装置，电荷释放装置的Z1、Z2、Z3端分别依次对应连接前置放大器的输入端、MEMS电容输出、电荷泵的输出；Z1、Z2端之间连接有一个电阻，Z1、Z2端分别各自连接一个二极管负极，二极管正极接地；两个PMOS管P1、P2栅极相连并接地，漏极相连并连接到NMOS管N1的源极，PMOS管P1源极接Z2端，PMOS管P2源极接PMOS管P3栅极，PMOS管P3源极、漏极通过短接电阻相连，PMOS管P3源极接Z3端；NMOS管N1的漏极接地，NMOS管N1的栅极由钳位电路给出固定直流电压。