[发明专利]显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供显示装置及其制造方法，其目的在于不增加制造工序地形成耐油性高的凸块。以包围第三上表面(68)的方式形成有贯穿树脂层(50)的切槽(76)。膜(52)形成为，在切槽(76)的内侧覆盖除了树脂层(50)的底面以外的整体且在切槽(76)的外侧使树脂层(50)的至少一部分露出。在切槽(76)的内侧残留被膜(52)整体覆盖的树脂层(50)，在切槽(76)的外侧除去与相对于膜(52)的露出面连续的树脂层(50)的整体。在切槽(76)的内侧由树脂层(50)及膜(52)形成凸块(48)，在切槽(76)的外侧以从第一基板(10)浮起的状态由膜(52)形成光闸(14)和驱动部(40)的至少一部分。

主权项

一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括以下工序：在第一基板上形成包含凸块、光闸及用于机械驱动所述光闸的驱动部在内的构造物的工序；与所述第一基板相对地配置第二基板的工序；在所述第一基板及所述第二基板之间填充油的工序，形成所述构造物的工序包括：将形成了图案的树脂层形成在所述第一基板上的工序；将以作为用于形成所述光闸及所述驱动部的材料的耐油性比所述树脂层高的材料进行图案形成而得到的膜形成在所述树脂层上的工序；残留所述膜并除去所述树脂层的一部分的工序，所述树脂层具有：最低的第一上表面、比所述第一上表面高的第二上表面、最高的第三上表面、从所述第一上表面下至底面的第一侧面、和从所述第一上表面上至所述第二上表面的第二侧面，以包围所述第三上表面的方式形成贯穿所述树脂层的切槽，所述膜形成为，在所述切槽的内侧覆盖所述树脂层的除了所述底面以外的整体，在所述切槽的外侧使得所述树脂层的至少一部分露出，在除去所述树脂层的一部分的工序中，在所述切槽的内侧残留被所述膜整体覆盖的所述树脂层，在所述切槽的外侧除去与相对于所述膜的露出面连续的所述树脂层的整体，在形成所述构造物的工序中，在所述切槽的内侧由所述树脂层及所述膜形成所述凸块，在所述切槽的外侧由所述膜形成所述光闸和所述驱动部的至少一部分。