[发明专利]一种硅片检测仪无效
| 申请号： | 201210164856.3 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102680322A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 史志和;王康;张凯 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01B5/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片检测仪，包括支撑体、千分表和砝码；支撑体具有支撑面水平的支撑件，支撑件支撑待测硅片的周部；支撑件的外侧具有定位件，定位件的内侧接触待测硅片，待测硅片每边接触至少一个定位件；千分表位于支撑体内部，千分表指针的中心线穿过待测硅片的几何中心；砝码的组合能够组成预定的重量，并放置在待测硅片的中央。硅片检测仪检测硅片时，硅片放置在支撑件上由定位件定位，千分表的触点抵顶硅片中央并调零，将预定重量的砝码放置在硅片中央，此时，千分表的读数能够反映硅片中央的实际变形量，如果此实际变形量大于合格变形量的最小值，则此硅片合格。此硅片检测仪结构简单操作方便，与现有技术相比，更适用于生产一线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 | ||
【主权项】：
一种硅片检测仪，其特征在于，包括支撑体（1）、千分表（2）和砝码（3）；所述支撑体（1）具有支撑面水平的支撑件（11），所述支撑件（11）支撑待测硅片（4）的周部；所述支撑件（11）的外侧具有定位件（12），所述定位件（12）的内侧接触所述待测硅片（4），所述待测硅片（4）每边接触至少一个所述定位件（12）；所述千分表（2）位于所述支撑体（1）内部，所述千分表（2）指针的中心线穿过所述待测硅片（4）的几何中心；所述砝码（3）的组合能够组成预定的重量，并放置在所述待测硅片（4）的中央。
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