[发明专利]薄平板结构共振模态分析系统及其使用方法

摘要

一种薄平板结构共振模态分析系统及其使用方法，系统包括有位于激光光源出光侧的第一分束棱镜，位于第一分束棱镜的物光束一侧的第一空间光滤波器，位于第一分束棱镜参考光束的一侧的第二空间光滤波器，第一空间光滤波器出射光侧设置接收光的被测平板，第二空间光滤波器出射光侧设置有接收光的参考平面，还依次设置有第二分束棱镜、光信号的摄像机、内部嵌入有用于接收摄像机所采集的图像的图像采集卡的PC机、以及频率可调谐正弦波发生器，频率可调谐正弦波发生器的输出连接用于对被测平板进行激振的激振源。本发明可以实现对微米级别的共振形变进行高精度的检测。并且通过后期的图像处理方法可以将薄平板变形的最大位置的坐标值和变形的最大值一一求解。

主权项

一种薄平板结构共振模态分析系统，其特征在于，包括有激光光源（1），位于激光光源（1）出光侧并将该光分为物光束和参考光束的第一分束棱镜（2），位于第一分束棱镜（2）的物光束一侧的第一空间光滤波器（4），位于第一分束棱镜（2）参考光束的一侧的第二空间光滤波器（5），所述的第一空间光滤波器（4）出射光侧设置接收光的被测平板（7），所述第二空间光滤波器（5）出射光侧设置有接收光的参考平面（6），还依次设置有分别接收被测平板（7）和参考平面（6）所反射的光的第二分束棱镜（3）、位于第二分束棱镜（3）出光侧并接收第二分束棱镜（3）所发出的光信号的摄像机（8）、内部嵌入有用于接收摄像机（8）所采集的图像的图像采集卡的PC机（9）、以及接收PC机（9）信号的频率可调谐正弦波发生器（10），所述的频率可调谐正弦波发生器（10）的输出连接用于对被测平板（7）进行激振的激振源（11）。