[发明专利]双微镜旋转扫描器件有效
申请号: | 201210166956.X | 申请日: | 2012-05-28 |
公开(公告)号: | CN102674232A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 徐英舜 | 申请(专利权)人: | 凝辉(天津)科技有限责任公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 天津市高新区华*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种双微镜旋转扫描器件,它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器,环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连;本发明基于目前现有材料和微加工工艺,可以获得90度的光学反射角度,并完成360度圆周扫描并且明显缩短了扫描器件的轴向长度。 | ||
搜索关键词: | 双微镜 旋转 扫描 器件 | ||
【主权项】:
一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器,环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连。
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