[发明专利]一种清除真空镀膜的溅射挡板上镀层的方法无效
| 申请号： | 201210167897.8 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN102699822A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 丁杰 | 申请（专利权）人： | 福耀集团（上海）汽车玻璃有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/04 | 分类号： | B24C1/04;B24C11/00;B24C7/00;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵继明 |
| 地址： | 201814 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种清除真空镀膜的溅射挡板上镀层的方法，该方法应用于磁控溅射镀膜领域，所述的方法具体包括以下步骤：1)将待处理工件放置在工作台上；2)将至少两台抛丸器按一定角度布置在待处理工件上方；3)将不锈钢丸加入抛丸器的进料口；4)启动抛丸器，抛丸器在待处理工件移动的同时，将不锈钢丸抛射至待处理工件表面，清除镀层。与现有技术相比，本发明具有成本低、操作方便、清理效果强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清除 真空镀膜 溅射 挡板 镀层 方法 | ||
【主权项】：
一种清除真空镀膜的溅射挡板上镀层的方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：1)将待处理工件放置在工作台上；2)将至少两台抛丸器按一定角度布置在待处理工件上方；3)将不锈钢丸加入抛丸器的进料口；4)启动抛丸器，抛丸器在待处理工件移动的同时，将不锈钢丸抛射至待处理工件表面，清除镀层。
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