[发明专利]一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置无效
| 申请号： | 201210170245.X | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN102828237A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 吴志新;宗杰;甘硕文;赵晓龙;林峰;张弢;加里宾.E.A;古谢夫.P.E;杰米坚科.A.A;杜纳耶夫.A.A;扎伊耶夫.U.H;马卡罗夫.A.H;米罗诺夫.I.A;阿法纳西耶夫.B.A;克鲁托夫.M.A | 申请（专利权）人： | 天津津航技术物理研究所 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/68;C30B29/46 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高尚梅 |
| 地址： | 300192*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于光学材料制备技术领域，具体涉及一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置。本发明的装置包括炉体、配电柜、控制柜、真空系统和冷却系统，控制柜通过真空系统、冷却系统、炉体内部的传感器进行控制、报警及记录数据；真空系统与炉体相连，用于对炉体进行抽真空操作；冷却系统与炉体及真空系统相连，用于对炉体及真空系统进行冷却处理；配电柜为装置提供动力电源。本发明解决了现有技术中采用化学气相沉积方法制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料中波红外波段光谱透过特性差、生产效率低的技术问题；采用真空条件下物理气相沉积原理制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料，产品中波红外波段光谱透过特性好，显著提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 硒化锌 硫化锌 多晶 光学材料 装置 | ||
【主权项】：
一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，包括炉体（4）和配电柜（5），其特征在于：还包括控制柜（1）、真空系统（2）和冷却系统（3），其中，控制柜（1）通过真空系统（2）、冷却系统（3）、炉体（4）内部的传感器对整个装置进行控制、报警及记录数据；真空系统（2）与炉体（4）相连接，用于对炉体（4）进行抽真空操作；冷却系统（3）与炉体（4）及真空系统（2）相连接，用于对炉体（4）及真空系统（2）进行冷却处理；配电柜（5）为整个装置提供动力电源。
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