[发明专利]双极型电磁式扫描微镜

摘要

本发明公开了一种双极型电磁式扫描微镜，是以硅基材料为衬底，采用MEMS工艺，加工出含有微反射镜面2、双极型电磁微驱动器4、扭转梁1、角度传感器3、双极型电磁微驱动器线圈连接极5以及支撑框架6的双极型电磁式扫描微镜。本发明采用双极型驱动方式对微镜进行驱动，可实现吸引力和排斥力同时作用于扭转梁上，在较低的驱动电压下实现微镜的大角度扫描；由于采用双极型电磁式驱动的结构，使得其响应时间大大缩短，极大地提高了微镜的工作频率；同时集成了电磁式角度传感器，实现扫描角度的精确测量，因此该扫描微镜外围信号处理电路简单易行，其成果可广泛应用于医学成像、投影仪、光谱仪及图形码阅读器等领域。

主权项

双极型电磁式扫描微镜，其特征在于：所述微镜包括微反射镜面（2）、双极型电磁微驱动线圈以及支撑框架（6），所述反射镜面（2）、双极型电磁微驱动线圈以及支撑框架（6）均制作在同一片硅结构层（5）上并以硅结构层（5）作为其共同的底层，所述反射镜面（2）、双极型电磁微驱动线圈位于支撑框架（4）结构的内部；所述微反射镜面（2）的上、下两侧的中部位置分别设置有相互对称的扭转梁（1），所述扭转梁（1）具有与微反射镜面（2）、双极型电磁微驱动线圈以及支撑框架（6）相同的硅结构层，扭转梁（1）的一端通过硅结构层与微反射镜面（2）相连接，另一端通过硅结构层与支撑框架（6）相连接；所述双极型电磁微驱动线圈包括微驱动线圈I（41）和微驱动线圈II（42），两者沿微反射镜面（2）的纵向中轴线对称设置在微反射镜面（2）的左、右两侧，微驱动线圈I（41）和微驱动线圈II（42）的绕向相反，在通入电流时，可实现吸引力和排斥力同时作用于扭转梁（1）上；所述微驱动线圈I（41）的起绕端设置有连接电极I（c），终绕端设置有驱动电极I（b），所述微驱动线圈II（42）的起绕端设置有连接电极I（c’），终绕端设置有驱动电极I（b’），所述连接电极I（c）与连接电极I（c’）导电连接，用于驱动微驱动线圈I（41）和微驱动线圈II（42）的电信号通过驱动电极I（b）、驱动电极I（b’）输入。