[发明专利]一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置

摘要

一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中，初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动；当两工件台运动到一定位置时，切换开关会产生一个切换信号，通过切换信号切换至对应侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动。采用该驱动器切换方案可以解决光刻机双台交换过程中由于激光尺信号被遮挡而引起的驱动器失控问题。

主权项

一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该装置包括基台(3)、第一工件台(1)、第二工件台(2)、第一驱动器(103)、第二驱动器(203)、第三驱动器(104)、第四驱动器(204)、第一激光尺(101)、第二激光尺(201)、第三激光尺(102)、第四激光尺(202)；所述工件台在基台上沿X方向和Y方向运动，其特征在于：第一激光尺(101)和第三激光尺(102)关于Y轴对称安装在基台上，用于测量第一工件台沿X方向的位移，第二激光尺(201)和第四激光尺(202)关于Y轴对称安装在基台上，用于测量第二工件台沿X方向的位移；第一驱动器(103)与第一激光尺(101)通过数据线连接，第二驱动器(203)与第二激光尺(201)通过数据线连接，第三驱动器(104)与第三激光尺(102)通过数据线连接，第四驱动器(204)与第四激光尺(202)通过数据线连接；在第一驱动器和第三驱动器之间设置有第一切换开关，在第二驱动器和第四驱动器之间设置有第二切换开关；第一切换开关与第一工件台电连接，第二切换开关与第二工件台电连接；当第一切换开关(105)与第一驱动器(103)接通时，由第一驱动器(103)控制第一工件台的运动；当第一切换开关(105)与第三驱动器(104)接通时，由第三驱动器(104)控制第一工件台的运动；当第二切换开关(205)与第二驱动器(203)接通时，由第二驱动器(203)控制第二工件台的运动；当第二切换开关(205)与第四驱动器(204)接通时，由第四驱动器(204)控制第二工件台的工作。