[发明专利]基片装载装置和PECVD设备

摘要

本发明公开了一种基片装载装置，包括：基片上料组件，包括：分别放置有基片的至少两个料盒；平行地水平设置且沿传输方向同步运动的至少三条传送带；上料台，上料台与至少三条传送带的第二端对应设置；限位组件，所述限位组件设在上料台的第二端上以同步停止至少三条传送带；和取片机械手；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在升起气缸上方的至少两个托盘，其中取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到至少两个托盘上；与上料台并列设置的载板；以及设在载板和载片装置之间的上料机械手。根据本发明的基片装载装置，整个上料过程的效率得到了大幅的提高，节省了成本，而且结构简单。本发明还公开了一种PECVD设备。

主权项

一种基片装载装置，包括基片上料组件，其特征在于，所述基片上料组件包括：至少两个料盒，所述至少两个料盒用于在其中容纳基片；至少三条传送带，所述至少三条传送带平行地水平设置且沿着所述传输带的传输方向同步运动用于将至少两个料盒从所述传送带的第一端同步传送至第二端；上料台，所述上料台与所述至少三条传送带的第二端对应设置以接纳所述至少三条传送带送来的至少两个料盒；限位组件，所述限位组件设在所述上料台的第二端上，当所述至少两个料盒到达所述限位组件处时所述至少三条传送带同步停止；以及取片机械手，所述取片机械手用于从所述至少两个料盒内中同时对应地取出至少两个基片放置到载板上；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在所述升起气缸上方的至少两个托盘，其中所述基片上料组件中的取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到所述至少两个托盘上；载板，载板与所述上料台并列设置；以及上料机械手，所述上料机械手设在所述载板和所述载片装置之间以将所述托盘上的至少两个基片取出并放置到所述载板上。