[发明专利]用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置

摘要

本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液分离回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、气液分离片组和液体回收片组，密封和注液回收装置由浸没单元前端盖和浸没单元后端盖组成。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能，实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏，采用气液分离回收结构实现气体和液体的分离和分别回收，避免了气液两相流的产生，从而避免了气液两相流同时回收时引起的管路振动问题。无论硅片往哪个方向运动，气液分离回收结构都能够动态的调节装置内液面的高度。

主权项

一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置，在浸没式光刻机中的投影物镜组（1）和硅片（3）之间装有的气密封和气液分离回收装置；其特征在于：所述气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置（2）、气液分离片组（4）和液体回收片组（5）；密封和注液回收装置（2）由浸没单元前端盖（2A）和浸没单元后端盖（2B）组成；其中：1）浸没单元后端盖（2B）：在浸没单元后端盖（2B）开有中心通孔，在浸没单元后端盖（2B）的中心通孔向外的七个同心圆上分别依次开有四个等分的注液槽（6B），两个液体回收槽（7A）、两个气体回收槽（7B）、两个内密封注气槽（8B）、两个内密封气体回收槽（9B）、两个外密封气体回收槽（10B）和两个外密封注气槽（11B）；2）浸没单元前端盖（2A）：在浸没单元前端盖（2A）开有中心通孔，浸没单元前端盖（2A）的中心通孔向外依次嵌套有五个各自连续的环状圆柱腔体，五个环状圆柱腔向外依次为回收孔腔、内层注气压力缓冲腔（8A）、内层气体回收腔（9A）、外层气体回收腔（10A）和外层注气压力缓冲腔（11A），在位于前端盖中心通孔和回收孔腔之间的浸没单元前端盖（2A）的端面圆环上开有中心对称均布的四个相同的注液腔（6A），四个注液腔（6A）内均开有沿圆周方向排列的注液孔阵列（6C），回收孔腔内底面上开有回收孔阵列（7），内层注气压力缓冲腔（8A）内开有沿圆周方向排列的内层注气孔阵列（8C），外层注气压力缓冲腔（11A）内开有沿圆周方向排列的外层注气孔阵列（11C），内层气体回收腔（9A）和外层气体回收腔（10A）内均开有中心对称均布的十二个槽，回收孔阵列（7）由均匀密布的微孔组成；所述的浸没单元前端盖（2A）上端与浸没单元后端盖（2B）下端的结合面均为平面，并通过螺钉紧固连接；3）气液分离片组（4）：由七个圆环形的气液分离片叠放在一起组成气液分离片组（4），七个气液分离片的外侧与回收孔腔的外侧壁紧贴，七个气液分离片上开有对应相通且均匀密布的微孔，七个气液分离片中位于下面的六个气液分离片的内侧连续开有朝向浸没单元后端盖（2B）的斜面，七个气液分离片位于最下面的一个气液分离片与前端盖（2A）的回收孔腔内底面接触，七个气液分离片上开有的微孔与回收孔阵列（7）的微孔对应相通，由七个气液分离片上微孔形成的多道微管路与气体回收槽（7B）相通；4）液体回收片组（5）：由七个圆环形的液体回收片叠放在一起组成液体回收片组（5），七个液体回收片的内侧与回收孔腔的内侧壁紧贴，七个液体回收片上开有对应相通且均匀密布的微孔，七个液体回收片位于最下面的两个液体回收片的外侧开有朝向硅片（3）的斜面，七个液体回收片位于最下面的一个液体回收片与前端盖（2A）的回收孔腔内底面接触，七个液体回收片上开有的微孔与回收孔阵列（7）的微孔对应相通，由七个液体回收片上微孔形成的多道微管路与液体回收槽（7A）相通。