[发明专利]一种太阳能电池的PN结制作方法有效
| 申请号： | 201210174206.7 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102694070A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 孙林杰 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太阳能电池的PN结制作方法，在反应容器中对衬底依次执行步骤：在第一温度进行第一次通源；在第二温度进行第一次推结，所述第二温度高于所述第一温度；在所述第二温度进行第二次通源；在第三温度进行第二次推结，所述第三温度高于所述第二温度。采用本发明的太阳能电池的PN结制作方法，缩短了单次通源步骤的时间，在每次通源步骤后进行推结步骤，可以降低衬底表面掺杂区的掺杂浓度梯度，使PN结深比现有技术制作的结深浅，能够提高太阳能电池的电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 pn 制作方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池的PN结制作方法，其特征在于，在反应容器中对衬底依次执行下列步骤：在第一温度进行第一次通源；在第二温度进行第一次推结，所述第二温度高于所述第一温度；在所述第二温度进行第二次通源；在第三温度进行第二次推结，所述第三温度高于所述第二温度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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