[发明专利]改进的激光退火设备无效
| 申请号： | 201210174292.1 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102699529A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 王烨文 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/073 | 分类号： | B23K26/073;B23K26/16;H01L21/268 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改进的激光退火设备。该改进的激光退火设备包括激光束、外壳、位于该外壳顶侧的激光束输出窗口、位于该外壳底侧的用于承载待退火材料的基板、以及位于该激光束输出窗口和基板之间的可移动的保护块，该保护块相对于水平方向呈倾斜设置，该保护块设有贯通其上下表面的狭缝，该激光束垂直向下通过该激光束输出窗口后保持穿过该狭缝再射到该基板上。本发明的改进的激光退火设备通过与水平方向倾斜放置一个保护块，防止碎片影响激光头，减少激光头的更换，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
一种改进的激光退火设备，其特征在于，包括激光束、外壳、位于该外壳顶侧的激光束输出窗口、位于该外壳底侧的用于承载待退火材料的基板、以及位于该激光束输出窗口和基板之间的可移动的保护块，该保护块相对于水平方向呈倾斜设置，该保护块设有贯通其上下表面的狭缝，该激光束垂直向下通过该激光束输出窗口后保持穿过该狭缝再射到该基板上。
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