[发明专利]无角位移主被动复合式减振系统及其方法

摘要

无角位移主被动复合式减振系统及其方法涉及一种光电精密仪器检测领域，该系统包括：主被动减振器、加速度传感器、位移传感器、数据处理单元、控制单元和功率放大单元；主被动减振器和位移传感器放置在载体上，设备放置在主被动减振器上端，加速度传感器放置在设备上方；加速度传感器和位移传感器分别与数据处理单元连接，数据处理单元与控制单元连接，控制单元与功率放大单元连接，功率放大单元与主被动减振器连接。本发明通过主动减振和被动减振相结合的方式降低载体传递到光电精密测量设备的振动，通过位移控制使设备的安装点与载体间的相对距离相同，消除设备的相对角位移。并且结构简单，体积较小，使用简易。

主权项

无角位移主被动复合式减振系统，其特征在于，该系统包括：主被动减振器（10）、加速度传感器（12）、位移传感器（13）、数据处理单元（14）、控制单元（15）、功率放大单元（16）和载体（17）；所述主被动减振器（10）产生主动减振力，在被动减振的基础上进一步降低载体（17）传递到被减振设备（11）的振动；加速度传感器（12）测量被减振设备（11）的加速度；位移传感器（13）测量载体（17）和被减振设备（11）间的相对距离；数据处理单元（14）接收加速度传感器（12）和位移传感器（13）的发出的加速度信号和位移信号后，传递给控制单元（15），控制单元（15）输出信号经功率放大单元（16）驱动主被动减振器（10），带动被减振设备（11）移动到设定位置；所述主被动减振器（10）和位移传感器（13）放置在载体（17）上，被减振设备（11）放置在主被动减振器（10）上端，加速度传感器（12）放置在被减振设备（11）上方；所述加速度传感器（12）和位移传感器（13）分别与数据处理单元（14）连接，数据处理单元（14）与控制单元（15）连接，控制单元（15）与功率放大单元（16）连接，功率放大单元（16）与主被动减振器（10）连接。