[发明专利]一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置

摘要

本发明公开了一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置，包括绝缘衬底和三个测试单元，每个测试单元包括磷硅玻璃层和四探针多晶硅电阻测试桥，磷硅玻璃层固定于绝缘衬底顶面；磷硅玻璃层被刻蚀成相互平行的凹槽，在凹槽间形成台阶；多晶硅电阻条爬越磷硅玻璃层上的台阶；第一测试单元中，多晶硅电阻条与笛卡尔坐标系的X轴方向平行；第二测试单元和第三测试单元中，四探针多晶硅电阻测试桥的数量均为两个，多晶硅电阻条与笛卡尔坐标系的X轴之间分别形成β1夹角和β2夹角。该在线同步测试装置利用多晶硅爬越由磷硅玻璃制造的多个台阶，通过对三组五个多晶硅电阻的测试，进而实现磷硅玻璃和多晶硅厚度的测试。

主权项

一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置，其特征在于，该测试装置包括绝缘衬底（6）、以及固定于绝缘衬底（6）顶面的第一测试单元（1）、第二测试单元（2）和第三测试单元（3）三个测试单元，其中，每个测试单元包括磷硅玻璃层（4）和四探针多晶硅电阻测试桥（5），四探针多晶硅电阻测试桥（5）包括一根多晶硅电阻条（501）和连接在多晶硅电阻条（501）上的四个测试电极（502）；每个测试电极（502）中固定一金属块（503），磷硅玻璃层（4）固定于绝缘衬底顶面；磷硅玻璃层（4）被刻蚀成相互平行的凹槽（401），在凹槽（401）间形成台阶（402）；多晶硅电阻条（501）覆盖在磷硅玻璃层（4）上，且多晶硅电阻条（501）爬越磷硅玻璃层（4）上的台阶（402）；所述的第一测试单元（1）中，四探针多晶硅电阻测试桥（5）的数量为一个，多晶硅电阻条（501）与笛卡尔坐标系的X轴方向平行，且四探针多晶硅电阻测试桥（5）中的测试电极（502）位于磷硅玻璃层（4）上的台阶（402）的两侧；所述的第二测试单元（2）中，四探针多晶硅电阻测试桥（5）的数量为两个，两个四探针多晶硅电阻测试桥共用两个测试电极，其中，一个四探针多晶硅电阻测试桥中的多晶硅电阻条爬越磷硅玻璃层（4）上的台阶（402），另一个四探针多晶硅电阻测试桥中的多晶硅电阻条为平面；多晶硅电阻条（501）呈倾斜布置，且与笛卡尔坐标系的X轴之间形成β1夹角，β1大于0度小于90度；所述的第三测试单元（3）中，四探针多晶硅电阻测试桥（5）的数量为两个，两个四探针多晶硅电阻测试桥共用两个测试电极，其中，一个四探针多晶硅电阻测试桥中的多晶硅电阻条爬越磷硅玻璃层（4）上的台阶（402），另一个四探针多晶硅电阻测试桥中的多晶硅电阻条为平面；多晶硅电阻条（501）呈倾斜布置，且与笛卡尔坐标系的X轴之间形成β2夹角，β2大于0度小于90度，且β2与β1不相等。