[发明专利]圆形靶材的取样方法和检测方法无效
| 申请号： | 201210178262.8 | 申请日： | 2012-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN103454115A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;钟伟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/04 | 分类号： | G01N1/04;G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种圆形靶材的取样方法和检测方法，所述圆形靶材的检测方法包括：提供圆形靶材；在所述靶材的径向按靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中心区域与靶材边缘区域之间的中间区域取样，在所述靶材的厚度方向分层取样，其中，所述中间区域为所述圆形靶材消耗最快的区域；对各样本进行金相观察。基于上述取样方法进行的检测，由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够获取整个靶材的组织结构信息，很好地实现了对圆形靶材的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 取样 方法 检测 | ||
【主权项】：
一种圆形靶材的取样方法，其特征在于，包括：提供圆形靶材；在所述靶材的径向按靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中心区域与靶材边缘区域之间的中间区域取样，在所述靶材的厚度方向分层取样；其中，所述中间区域为所述圆形靶材消耗最快的区域。
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