[发明专利]一种无接触式单自由度定位装置及其同步运动控制方法有效
| 申请号： | 201210179247.5 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102722086A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;杨开明;李鑫;崔乐卿;胡金春;张鸣;徐登峰;穆海华;尹文生;余东东 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D3/12;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种无接触式单自由度定位装置及其同步运动控制方法，该定位装置包括两个沿Y轴方向运动的粗动台，该两个粗动台之间无机械连接。每个粗动台由一个独立驱动的直线电机、一个气浮支撑、一个气浮导向组成。该定位装置的测量装置包括两个光栅尺，能够测量每个粗动台沿Y轴方向的绝对位置。第一粗动台以第一光栅尺为位置反馈，采用非线性控制算法实现沿Y轴运动，第二粗动台以两个光栅尺信号的差值为位置反馈，根据设计的同步控制方法实现第二粗动台与第一粗动台的同步运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 自由度 定位 装置 及其 同步 运动 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种无接触式单自由度定位装置，其特征在于：该定位装置包括两个沿Y轴方向运动的粗动台，同时该两个粗动台之间无机械连接；每个粗动台包括一个直线电机（101）、一个支撑元件（102）和一个导向元件（103）；粗动台在洛仑兹力作用下沿Y轴运动；支撑元件（102）的下表面与基架（001）的上表面正面相对，支撑元件（102）下表面有气孔，气孔轴线沿Z轴方向，在支撑元件（102）与基架之间形成沿Z轴方向的气浮支撑；导向元件（103）的侧面与基架的侧面正面相对，导向元件（103）的侧面有气孔，气孔的轴线沿X轴方向，导向元件（103）与基架之间形成气浮导向，导向方向沿Y轴方向。
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