[发明专利]靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201210179697.4 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103447535A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;周友平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F8/00 | 分类号： | B22F8/00;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材的制作方法，包括：收集废弃的靶材；提供用于制作靶材的粉末原料；将废弃的靶材及粉末原料放入模具中，然后将模具放入真空炉内，真空炉内设有压头；对真空炉进行抽真空，直至真空炉达到预设真空度；真空炉达到预设真空度之后，对真空炉进行加热直至达到预设温度，利用压头压紧废弃的靶材及粉末原料直至达到预设压强；保温保压一段时间，然后逐渐泄压、冷却，取出靶材。在高温高压的作用下，粉末原料与废弃的靶材能紧密连接并结合为一个整体，从而获得所需尺寸的靶材。可分几个阶段将真空炉逐步调整至预设温度及预设压强，使真空炉的加热及加压过程更为平缓并使最终形成靶材的致密度更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
【主权项】：
一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：收集废弃的靶材；提供用于制作靶材的粉末原料；将所述废弃的靶材及粉末原料放入模具中，然后将所述模具放入真空炉内，所述真空炉内设有压头；对所述真空炉进行抽真空，直至真空炉达到预设真空度；真空炉达到预设真空度之后，对真空炉进行加热直至达到预设温度，利用所述压头压紧废弃的靶材及粉末原料直至达到预设压强，所述预设温度低于靶材的熔点；保温保压一段时间，然后逐渐泄压、冷却，取出靶材。
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