[发明专利]用于空间活动部件的耐盐雾腐蚀自润滑薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201210180230.1 | 申请日: | 2012-06-01 |
公开(公告)号: | CN103448341B | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
发明(设计)人: | 何文松;苏达;郭立杰;宿国友;刘明芳;顾华洋;石磊 | 申请(专利权)人: | 上海航天设备制造总厂 |
主分类号: | B32B33/00 | 分类号: | B32B33/00;C23C14/06;C23C14/48;C23C14/35 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 200245 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于空间活动部件的耐盐雾腐蚀自润滑薄膜,包括阻挡层和耐腐蚀润滑层,空间活动部件的金属润滑面上依次采用离子注入与沉积工艺制备氮化钛膜作为阻挡层,采用离子注入与磁控溅射复合工艺制备二硫化钼/镍铬合金复合膜作为耐腐蚀润滑层。还提供相应的制备方法。本发明耐盐雾腐蚀自润滑薄膜的质量损失小于60g/m2,适用于空间活动部件润滑膜的耐海洋环境腐蚀。 | ||
搜索关键词: | 用于 空间 活动 部件 耐盐雾 腐蚀 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于空间活动部件的耐盐雾腐蚀自润滑薄膜,其特征在于,包括阻挡层和耐腐蚀润滑层,空间活动部件的金属润滑面上依次采用离子注入与沉积工艺制备氮化钛膜作为阻挡层,采用离子注入与磁控溅射复合工艺制备二硫化钼/镍铬合金复合膜作为耐腐蚀润滑层;阻挡层的膜厚为0.5um~10um;耐腐蚀润滑层的膜厚为0.5um~10um;空间活动部件的材质为如下任一种金属或任多种金属组成的合金:‑铝;‑钛;‑镁;‑不锈钢。
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