[发明专利]发光二极管元件及其制造方法

摘要

本发明公开一种发光二极管元件的制造方法，其包括：提供外延基板；形成外延层于外延基板上，外延层具有相对的第一侧表面与第二侧表面，第一侧表面与外延基板的表面接合；形成第一欧姆接触层于外延层的第二侧表面上；形成接合层于第一欧姆接触层上，通过接合层将键合基板接合于第一欧姆接触层上；移除外延基板；形成第二欧姆接触层于外延层的第一侧表面上；形成暴露第一欧姆接触层的穿孔；形成导电层于穿孔中，并与第一欧姆接触层电连接；及形成第一电极及第二电极于外延层上，第一电极经由导电层电连接第一欧姆接触层，第二电极与第二欧姆接触层电连接。通过本发明发光二极管元件的制造方法，可降低制作工艺成本及确保导线连接第一电极的可靠度。

主权项

一种发光二极管元件的制造方法，包括步骤：提供一外延基板；形成一外延层于该外延基板上，该外延层具有相对的第一侧表面与第二侧表面，其中该第一侧表面与该外延基板的一表面接合；形成一第一欧姆接触层于该外延层上的该第二侧表面上；形成一接合层于该第一欧姆接触层上，通过该接合层将一键合基板接合于该第一欧姆接触层上；移除该外延基板；形成一第二欧姆接触层于该外延层的该第一侧表面上；形成暴露该第一欧姆接触层的一穿孔；形成一导电层于该穿孔中，并与该第一欧姆接触层电连接；以及形成一第一电极及一第二电极于该外延层上，该第一电极经由该导电层电连接该第一欧姆接触层，该第二电极与该第二欧姆接触层电连接。