[发明专利]一种高灵敏度的CoFeB基磁隧道结

摘要

本发明公开了一种具有高灵敏度的CoFeB基磁隧道结。该CoFeB基磁隧道结的结构依次包括：基片、过渡层、磁性电极层、绝缘层、磁性电极层、保护层；其中，所述磁性电极层为CoFeB层，所述过渡层为钨层。具体结构可为：Si/SiO2/W(3-15nm)/CoFeB(5-20nm)/MgO或Al2O3(1-3nm)/CoFeB(5-20nm)/Ta(1-5nm)。本发明使用W替代Ta作为磁隧道结中的过渡层，可以促进CoFeB在低磁场下实现敏锐的翻转，并且具有良好的热稳定性。由于W层不容易与Co、Fe形成合金，界面处的CoFeB保持良好的非晶形貌，得到的材料矫顽力小、矩形度高。材料在退火后矫顽力和矩形度变化不大，热稳定性良好。

主权项

一种CoFeB基磁隧道结，其结构依次包括：基片、过渡层、磁性电极层、绝缘层、磁性电极层、保护层，所述磁性电极层为CoFeB层；其特征在于：所述过渡层为钨层。