[发明专利]用于制造有机发光显示面板的装置和方法

摘要

一种用于制造有机发光显示面板的装置和方法。一种用于制造有机发光显示面板的装置包括多个室；沉积单元，被配置为将转移层形成在以卷对卷工艺供应到所述多个室内的膜上；以及激光热转移装置，被配置为将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到被供应至所述多个室中的室内的基板上。

主权项

一种用于制造有机发光显示面板的装置，该装置包括：多个室，包括维持在多级真空态下的多个真空室；沉积单元，被配置为在所述多个室中的高真空室中将转移层形成在以卷对卷工艺供应到所述多个室内的膜上；连接至所述高真空室的基板转移室；以及激光热转移装置，被配置为在所述高真空室中将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到从所述基板转移室被供应至所述高真空室内的基板上，其中所述基板转移室维持在与所述高真空室所维持的环境相同的环境下，其中所述沉积单元和所述激光热转移装置在同一腔室中，其中所述高真空室维持在10‑6托以下的高真空环境下，其中具有透过从所述激光热转移装置发出的激光束的开口的图案掩膜被布置于所述激光热转移装置和所述膜之间，使得所述激光束照射在所述膜上。