[发明专利]低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵监控方法有效
| 申请号： | 201210182114.3 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN102828929A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 小山知大 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B49/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够有效地监控低温泵的劣化的低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的监控方法。本发明中的低温泵具备对气体进行冷却并使其冷凝或吸附的低温板、及容纳低温板的泵容器。低温泵的再生处理包括基本净化处理、排气处理、必要情况下进行追加实施的追加净化处理。追加净化处理包括1次以上气体净化工序。控制低温泵的低温泵控制装置(80)中，劣化判定部(88)判定在1次再生处理中需要追加实施的气体净化工序的总数即再净化次数是否达到劣化判定基准次数。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 控制 装置 系统 监控 方法 | ||
【主权项】：
一种低温泵控制装置，其控制低温泵，且所述低温泵具备对气体进行冷却并使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器，所述低温泵控制装置的特征在于，所述低温泵的再生处理包括：基本净化处理，包括1次以上的气体净化工序；1次以上的排气处理，对泵容器内进行真空抽取直至达到真空度保持判定级别之后，对真空度保持状态进行判定；追加净化处理，包括1次以上的气体净化工序，该追加净化处理在必要情况下追加实施1次以上，所述低温泵控制装置具备劣化判定部，该劣化判定部用于判定再净化次数是否达到劣化判定基准次数，所述再净化次数为在1次再生处理中需实施的1次以上的追加净化处理中所包括的1次以上的气体净化工序的总数。
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