[发明专利]通过离子注入砷改进晶体硅太阳能电池制作工艺的方法

摘要

本发明公开了一种通过离子注入砷改进晶体硅太阳能电池制作工艺的方法，通过该方法制作的晶体硅太阳能电池一方面采用离子注入砷形成表面的N型区域，可以同时具备高掺杂和浅结的功能，从而提高开路电压和电池效率，而且相对于磷，退火后高剂量的砷并不会在硅表面引起太多缺陷，也有益于降低硅片的表面态密度，提高少子寿命；另一方面硅片的金属与硅片的欧姆接触仍采用传统的扩散制结的方法，这样本方法就与现在光伏电池制造领域常规的扩散制结和丝网印刷烧结技术完全兼容，无需摸索新的参数，可以实现大规模量产。

主权项

一种通过离子注入砷改进晶体硅太阳能电池制作工艺的方法，其特征在于，所述具体制作步骤包括：对P型单晶或多晶硅片进行去损伤层和表面制绒；在硅片的正面指定区域进行图形化的扩散制结；去除硅片边缘处PN结，并去除磷硅玻璃；在硅片绒面一侧离子注入砷，然后对硅片进行快速热退火；硅片的绒面侧用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮化硅；丝网印刷硅片正面的电极浆料以及硅片背面的背场浆料；共烧结形成欧姆接触。