[发明专利]一种膜吸收法制备超净高纯氨水的方法有效
申请号: | 201210183666.6 | 申请日: | 2012-06-06 |
公开(公告)号: | CN103466656A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 许振良;魏永明;刘志平;李金荣;马晓华 | 申请(专利权)人: | 华东理工大学 |
主分类号: | C01C1/12 | 分类号: | C01C1/12 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人: | 朱小晶 |
地址: | 200237 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种膜吸收法制备超净高纯氨水的方法,其特征在于,具体步骤为:(1)将液氨汽化成气氨;(2)对步骤(1)中的气氨进行除油;具体为采用膜法脱除气氨中的高碳油份,化学法脱除气氨中的低碳油份,树脂法脱除气氨中的水溶性油份;(3)对步骤(2)中除油后的气氨进行膜过滤,以除去杂质;(4)对步骤(3)中过滤后的气氨进行膜吸收,以制备出高纯氨水。本发明的优点:采用本方法制备的超净高纯氨水质量达到SEMI-C12氨水技术,其金属杂质含量≤0.1ppb;非金属杂质含量≤30ppb;颗粒(≥0.2μm)≤25个/mL;具有工艺简单、产品纯度高、生产成本低等一系列优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 吸收 法制 净高 氨水 方法 | ||
【主权项】:
一种膜吸收法制备超净高纯氨水的方法,其特征在于,具体步骤为:(1)将液氨汽化成气氨;(2)对步骤(1)中的气氨进行除油;具体为采用膜法脱除气氨中的高碳油份,化学法脱除气氨中的低碳油份,树脂法脱除气氨中的水溶性油份;(3)对步骤(2)中除油后的气氨进行膜过滤,以除去杂质;(4)对步骤(3)中过滤后的气氨进行膜吸收,以制备出高纯氨水。
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