[发明专利]辐射源和光刻设备有效
| 申请号： | 201210183908.1 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN102819194A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | M·A·C·斯凯皮斯;M·F·A·欧林斯;F·J·J·杰森;B·J·A·斯道米恩;H·J·M·柯鲁维尔;J·考亨;H·帕特尔;P·W·J·杰森;M·K·J·伯恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种辐射源以及一种光刻设备。所述辐射源包括燃料源，配置成将燃料输送至等离子体发射位置、用于通过激光束蒸发以形成等离子体，并且还包括收集器，配置收集通过等离子体发射的EUV辐射并引导EUV辐射朝向中间焦点，收集器还包括衍射光栅，所述衍射光栅配置成衍射通过等离子体发射的红外辐射，其中辐射源还包括位于中间焦点前的辐射导管，辐射导管包括通过向内变细的主体或向内呈锥形的主体连接至出口孔的入口孔，辐射导管包括内部部分和外部部分，内部部分比外部部分靠近中间焦点，其中内部部分配置成将入射的衍射红外辐射反射朝向外部部分。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种辐射源，包括：燃料源，配置成将燃料输送至等离子体发射位置、用于通过激光束蒸发以形成等离子体；收集器，配置收集通过等离子体发射的EUV辐射并引导所述EUV辐射朝向中间焦点，所述收集器还包括衍射光栅，所述衍射光栅配置成衍射通过等离子体发射的红外辐射，和位于中间焦点前的辐射导管，所述辐射导管包括通过向内变细的主体或向内呈锥形的主体连接至出口孔的入口孔，所述辐射导管包括内部部分和外部部分，所述内部部分比所述外部部分靠近中间焦点，其中所述内部部分配置成将入射的衍射红外辐射反射朝向所述外部部分。
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