[发明专利]加工装置

摘要

本发明提供一种加工装置，其能够将摄像构件的光量调整为合适的光量。该加工装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；加工构件，其对被该卡盘工作台保持的被加工物施行加工；摄像构件，其对被该卡盘工作台保持的被加工物进行摄像；和加工进给构件，其对该卡盘工作台和该加工构件相对地进行加工进给，其特征在于，该摄像构件包括：光源，其照明被加工物；摄像机，其对被照明了的被加工物进行摄像；和光量调整器，其对从所述光源照射的光的光量进行调整，该光量调整器具有：旋转板，其具有旋转轴；开口部，其形成于该旋转板并供从所述光源照射的光透过；和遮光板，其与所述旋转轴的旋转角度对应地使透过所述开口部的光量在最大值和最小值之间变化。

主权项

1.一种加工装置，所述加工装置具有：卡盘工作台，所述卡盘工作台用于保持被加工物；加工构件，所述加工构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物施行加工；摄像构件，所述摄像构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行摄像；以及加工进给构件，所述加工进给构件用于对所述卡盘工作台和所述加工构件相对地进行加工进给，所述加工装置的特征在于，所述摄像构件包括：频闪光源，所述频闪光源由氙闪光灯构成，用于照明被加工物；摄像机，所述摄像机用于与该频闪光源的发光同步地对被照明了的被加工物进行摄像；分光器，所述分光器用于反射来自该频闪光源的光的一部分并导向被加工物；以及光量调整器，所述光量调整器配置在该频闪光源和该分光器之间，用于对从该频闪光源照射的光的光量进行调整，所述光量调整器包括：旋转板，所述旋转板具有旋转轴；开口部，所述开口部形成于所述旋转板，并用于供从所述频闪光源照射的光透过；遮光板，其配设在所述开口部，所述遮光板与所述旋转轴的旋转角度对应地使透过所述开口部的光量在最大值和最小值之间连续地变化；以及脉冲马达，所述脉冲马达与所述旋转轴连接，一边通过所述脉冲马达使所述遮光板旋转一边用所述摄像机对所述被加工物进行摄像，并在监视器上观察摄像图像，从而在使来自所述氙闪光灯的光量达到最佳的位置处停止所述脉冲马达的驱动，由此，通过所述光量调整器将来自所述氙闪光灯的光量调整为适合于被加工物的摄像的光量来对被加工物的应加工区域进行摄像。