[发明专利]一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置及方法无效
| 申请号： | 201210185858.0 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN102744521A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华 | 申请（专利权）人： | 江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/04;B23K26/03;B23K26/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;沈国安 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光经过电动光闸（2）进入扩束镜（5）进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光经由1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）经远心场镜（8）聚焦到作为待加工件（12）的有机玻璃的导电膜层上。本发明涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，加工简单、效率高且无需耗材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 激光 刻蚀 有机玻璃 双面 导电 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光经过电动光闸（2）进入扩束镜（5）进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光经由1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）经远心场镜（8）聚焦到作为待加工件（12）的有机玻璃的导电膜层上。
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