[发明专利]一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置和方法有效
| 申请号： | 201210185862.7 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN102717191A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华 | 申请（专利权）人： | 江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/06;B23K26/42;B23K26/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;沈国安 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置，所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平台（13）上作为待加工件（12）的柔性导电膜上。本发明一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置，适应生产需求、减少生产工序、增加生产效率且节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 激光 刻蚀 柔性 导电 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置，其特征在于：所述装置包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平台（13）上作为待加工件（12）的柔性导电膜上；所述柔性导电膜卷绕在卷膜传输系统（16）上，所述卷膜传输系统（16）包含有左右对称设置的放卷辊和收卷辊，柔性导电膜一端卷绕在放卷辊上，另一端卷绕在收卷辊上，位于放卷辊和收卷辊的柔性导电膜展平吸附于真空吸附平台（17）上，且位于放卷辊和收卷辊的柔性导电膜上方设置有一CCD对位观察系统（9）。
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