[发明专利]一种剪切位移散斑测量方法及装置有效
| 申请号： | 201210186751.8 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN103471508A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 池景春;兰艳平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种剪切位移散斑测量方法，包括：将两激光光束合束后投射至一粗糙表面后得到一散射光，将该散射光经一半透半反镜后改变方向并分成两束光，其中第一光束分别经过第一透镜和第一探测器获得该散射光的多色散斑图，根据该多色散斑图得到被测表面偏转俯仰角度，第二光束分别经过一滤波片、第二透镜和第二探测器获得该散射光的单色散斑图，根据该单色散斑图得到被测表面的移动距离，将该移动距离消除该被测表面偏转后获得一剪切位移。本发明同时公开一种剪切位移散斑测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剪切 位移 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
一种剪切位移散斑测量方法，其特征在于，包括：将两激光光束合束后投射至一粗糙表面后得到一散射光，将所述散射光经一半透半反镜后改变方向并分成两束光，其中第一光束分别经过第一透镜和第一探测器获得所述散射光的多色散斑图，根据所述多色散斑图得到被测表面偏转俯仰角度，第二光束分别经过一滤波片、第二透镜和第二探测器获得所述散射光的单色散斑图，根据所述单色散斑图得到被测表面的移动距离，将所述移动距离消除所述被测表面偏转后获得一剪切位移。
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