[发明专利]直写式光刻系统中图像数据串的压缩方法

摘要

本发明公开了一种在直写式光刻系统中图像数据串的压缩方法，压缩后的数据以字节为单位，以不同的表述位组合成不同数据结构，结构中位数据从高到低依次为指示位、图像点数据，或者为指示位、表示位、计数值，或者为指示位、表示位、说明数据。本发明的压缩方法简单，速度快；压缩后数据在传输时符合反向非归零（NRZI）编码要求，不需插入数据位，浪费带宽；压缩数据可以利用图像中的相关性提高压缩比。

主权项

一种直写式光刻系统中图像数据串的压缩方法，其特征在于：压缩后的数据以字节为单位，以不同的表述位组合成不同数据结构，结构中位数据从高到低依次为指示位、图像点数据，或者为指示位、表示位、计数值，或者为指示位、表示位、说明数据；具体步骤如下：（1）读取一行数据，并压入保存行起始说明（十六进制数）05H（10），检查此行是图像首行，是则压入保存（十六进制数）05H（8），缓存本行并取本行转步骤（4），否则继续下一步骤；（2）与缓存行进行相关比较，即与缓存行对应异或，检查0的数量以判断相关系数；（3）如果相关系数为1，即与缓存完全相同，则压入保存（十六进制数）11H（10），转步骤（1）；如果相关系数大于等于0.5，则压入保存（十六进制数）06H（9），缓存本行，取异或后的行继续；否则，则压入保存（十六进制数）05H（8），缓存本行，取本行继续；（4）取7个像素的点阵；（5）点阵数据等于0000000或1111111时，转步骤7；否则压入数高位是1、低7位是点阵数据组合的字节，计数值cnt清零；（6）本行结束判断，是则转步骤（9）；否则再取7个像素的点阵，与上次的点阵数据相同，则计数值cnt加1，重复步骤（6）至不相同或计数值cnt等于31，则压入数高3位是011(6）、低5位是计数值cnt数据的组合后的字节，转步骤5重复；（7）计数值cnt置7；（8）本行结束判断，是则转步骤9；否则继续读取点阵数据并检查是否等于0或1，是则cnt计数值加1，重复步骤（8）至不等于0或1或计数cnt等于31，则压入数高3位是001(4)或010(5)、低5是计数cnt数据的组合后的字节，转步骤4重复；（9）本行结束，压入行结束说明（十六进制数）0CH（11）；（10）判断图像是否全部压缩扫描完，是则结束，否则转步骤1重复进行。