[发明专利]分割预定线检测方法

摘要

本发明提供分割预定线检测方法。该分割预定线检测方法的特征在于，具有以下步骤：第1对准标记摄像步骤，将摄像单元定位到被卡盘台保持的被加工物，一边使该摄像单元在Y轴方向上移动，一边与该第1对准标记的间隔对应地照射该摄像单元的频闪光来在第1方向上依次拍摄该第1对准标记，检测该第1对准标记的坐标值；第2对准标记摄像步骤，一边使该摄像单元在与该第1方向相反的第2方向上移动，一边与该第2对准标记的间隔对应地从该摄像单元照射频闪光来依次拍摄该第2对准标记，检测该第2对准标记的坐标值；以及分割预定线检测步骤，检测连接对应于Y轴方向的该第1对准标记和该第2对准标记而成的直线作为第1分割预定线。

主权项

一种分割预定线检测方法，在被加工物中拍摄第1对准标记和第2对准标记来检测第1分割预定线，在该被加工物中，在由多个该第1分割预定线和与该第1分割预定线交叉的多个第2分割预定线划分而成的各区域中形成有器件，并且在该多个该第1分割预定线的第1端部具有与该第1分割预定线关联形成的多个该第1对准标记，在该多个该第1分割预定线的该第1端部的相反侧的第2端部具有与该第1分割预定线关联形成的多个该第2对准标记，该分割预定线检测方法的特征在于具有以下步骤：保持步骤，由可在X轴方向上移动的卡盘台保持被加工物；第1对准标记摄像步骤，将摄像单元定位到被该卡盘台保持的被加工物，一边使该摄像单元在与X轴方向垂直的Y轴方向上移动而一边与该第1对准标记的间隔对应地照射该摄像单元的频闪光来在第1方向上依次拍摄该第1对准标记，检测该第1对准标记的坐标值并将该第1对准标记的坐标值存储到存储器中；卡盘台移动步骤，使该卡盘台在X轴方向上移动来将该摄像单元定位到被加工物的该第2端部；第2对准标记摄像步骤，在实施了该卡盘台移动步骤后，一边使该摄像单元在与该第1方向相反的第2方向上移动而一边与该第2对准标记的间隔对应地从该摄像单元照射频闪光来依次拍摄该第2对准标记，检测该第2对准标记的坐标值并将该第2对准标记的坐标值存储到存储器中；以及分割预定线检测步骤，根据通过该第1对准标记摄像步骤存储在存储器中的该第1对准标记的坐标值和通过该第2对准标记摄像步骤存储在存储器中的该第2对准标记的坐标值，检测连接对应于Y轴方向的该第1对准标记和该第2对准标记而成的直线作为第1分割预定线。