[发明专利]一种多晶硅铸锭用梯度坩埚的制备方法有效

专利信息
申请号: 201210190127.5 申请日: 2012-06-08
公开(公告)号: CN102677166A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 熊震;付少永 申请(专利权)人: 常州天合光能有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 张欣;张政权
地址: 213031 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种多晶硅铸锭用梯度坩埚的制备方法,所述坩埚侧面隔热、底部导热,所述方法包括:a)将石英粉末制备成可流动的A浆体;b)将热导率高于所述石英粉末的导热相制备成可流动的B浆体;c)在坩埚底部成型阶段,将所述A浆体和B浆体混合注浆成型;d)在坩埚底部坯体部分注浆完毕后,逐步提高A浆体的比例,直至B浆体的流量减为零;e)以A浆体注浆成型剩余高度的坩埚侧面。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭 梯度 坩埚 制备 方法
【主权项】:
一种梯度坩埚的制备方法,所述坩埚侧面隔热、底部导热,所述方法包括:a)将石英粉末制备成可流动的A浆体;b)将热导率高于所述石英粉末的导热相制备成可流动的B浆体;c)在坩埚底部成型阶段,将所述A浆体和B浆体混合注浆成型;d)在坩埚底部坯体部分注浆完毕后,逐步提高A浆体的比例,直至B浆体的流量减为零;e)以A浆体注浆成型剩余高度的坩埚侧面。
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