[发明专利]一种用于提高GaN膜质量的蓝宝石图形衬底及制备方法无效
| 申请号： | 201210190964.8 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102703974A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 梁红伟;杨德超;俞振南;夏晓川;申人升;杜国同 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B29/40 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人： | 徐淑东 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种用于提高GaN膜质量的蓝宝石图形衬底及制备方法，利用掩膜技术在c面蓝宝石衬底上制备三角形掩膜图形，并利用ICP干法刻蚀或湿法刻蚀技术将掩膜图形转移到蓝宝石衬底上并形成侧面为[1 |
||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提高 gan 质量 蓝宝石 图形 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于提高GaN膜质量的蓝宝石图形衬底，其特征在于，所述一种用于提高GaN膜质量的蓝宝石图形衬底形成于蓝宝石衬底上，表面为规则排列的若干三棱锥（2）或三棱台（3），其周期性排布；三棱锥（2）或三棱台（3）的底面为等边三角形，三个侧面由蓝宝石[1![]()
05]面（4）构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学;浙江水晶光电科技股份有限公司，未经大连理工大学;浙江水晶光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210190964.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
